- 2019-11-22-
中文名 : 光纤激光干涉尺
外文名 : Fibre Optic Laser Encoder
别名 : 光纤激光尺,光纤激光编码器
功能 ; 位移、速度、加速度测量
测量类型 : 增量式测量
光纤激光干涉尺组成
激光器主机:激光器主机包含激光光源(632.8nm的氨氖激光器)和控制计算电路。激光器主机产生一个频率非常稳定的,波长精度一般在1x10-7m到1x10-8m之间的激光,作为干涉测量的基础;控制计算电路负责处理激光探头测量的数据和环境补偿信息及输出位置信号。
环境补偿组件 : 当激光在空气中传播时,受温度、压力和湿度的影响,激光的波长会发生变化。激光波长的变化最终会影响测量的精度。为了减少环境因素的影响,激光波长必须根据空气中的温度、压力和湿度进行补偿。
光纤激光干涉尺工作原理
光纤激光干涉仪是一种基于激光干涉原理的高精度位移测量方法。激光由激光尺主机产生后,通过光纤传输到激光探头。在激光探针中,分束器将激光分为两个通道,一个是参考光,另一个是测量光。激光探头发射测量光束,测量光束通过反射镜反射回激光探头,并与参考光束干涉。如果此时角锥反射器沿光路变化,则相当于测量光束光路长度的变化。根据干涉原理,参考光与被测光的相位和会发生变化,从而引起条纹间的摩擦。
莫尔条纹经激光探头中的光电传感器采集后,转换成电信号传输到上位机。上位机根据环境补偿组件采集的环境数据实时计算光波,并最终输出位置信号。
光纤激光干涉尺技术特点
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